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【SEM】サーマル電界放出形走査電子顕微鏡

 装置概要

セミインレンズ対物レンズにより、高分解能・高画質を実現しており、0.1~ 3kVの低加速電圧での高分解能観察が可能です。
試料の最表面の観察が可能で、非導電性試料をそのまま観察することも可能です。

● 二次電子像分解能:1.0nm(15kV)
● 倍率: X25~X1,000,000(120x90mm画像)
● 加速電圧:0.1kV~30kV
● プローブ電流:1pA~200nA
● EDS分析部 (元素分析):Si(Li)検出器、分解能 129eV、検出可能元素 Be~U

 メーカー・規格

日本電子株式会社 JSM-7600F

サーマル電界放出形走査電子顕微鏡
サーマル電界放出形走査電子顕微鏡

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