やまぐちイノベーション創出推進拠点

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クリーンルーム(ドラフトチャンバー含む)

 設備概要

クラス1000の半導体ドライプロセス仕様のクリーンルームです。

● 面積:88.39m²
● 清浄度:クラス1000(HEPAフィルタ)
● 温度:23.0℃±2.0℃
● 湿度:50%±10%
クリーンルーム(ドラフトチャンバー含む)
クリーンルーム
(ドラフトチャンバー含む)

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