やまぐちイノベーション創出推進拠点

やまぐちイノベーション創出推進拠点トップページ > 精密イオンポリッシングシステム

やまぐちイノベーション創出推進拠点


【PIPS】精密イオンポリッシングシステム

 装置概要

透過型電子顕微鏡の試料作製装置です。アルゴンイオンビームを試料表面に照射して、エッチングによる各種試料の薄膜化を行い、TEM観察を可能にします。
イオンポリッシングのための前加工用装置も取り揃えています。

● イオン銃:ペニング形イオン銃 2式
● イオンエネルギー:0.1~6keV連続可変
● ビーム照射角度:±10°連続可変
● ポリッシング速度:(例)22μm/h以上(条件:銅、4°、5keV)
● 前加工装置:精密切断器、超音波ディスクカッター、ディスクグラインダー、ハンディラップ、ディンプルグラインダー

 メーカー・規格

GATAN社 PIPS Model 691

精密イオンポリッシングシステム
精密イオンポリッシングシステム

利用予約 利用予約