やまぐちイノベーション創出推進拠点

やまぐちイノベーション創出推進拠点トップページ > 集束イオンビーム加工観察装置

やまぐちイノベーション創出推進拠点


【FIB】集束イオンビーム加工観察装置

 装置概要

集束イオンビームによる試料加工装置です。
特定部位のSTEM・TEM試料作製およびSEM観察用の試料断面加工が容易に行えます。
また、断面加工とSIM観察により表層部構造や粒子断面の観察に有効です。

● イオン源:Ga液体金属源
● 加速電圧:5~30kV(5kVステップ)
● 倍率:×50(視野探し用)
×150~×300,000
● 像分解能:6nm(30kV時)
● 最大ビーム電流:30nA(30kV時)
● ビーム径(電流):10段階切り替え

 メーカー・規格

日本電子株式会社 JEM-9320FIB

集束イオンビーム加工観察装置
集束イオンビーム加工観察装置

利用予約 利用予約