やまぐちイノベーション創出推進拠点

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フィールドエミッションオージェ電子顕微鏡

 ※装置を利用したい方は、山口県産業技術センターまでお問い合わせください。

 設備概要

酸化皮膜等の極表面 (表面から数 nmの深さまで )の分析およびイオンスパッタ リング法による深さ方向の元素組成の変化 (デプスプロファイル )を測定します。

● 電子銃:ショットキーフィールドエミッション電子銃
● 加速電圧:0.5~ 30kV
● 倍率:×25~ 500,000
● 二次電子像分解能:3nm(25kV、10pA)
● オージェ分析時のプローブ径:8nm(25kV、1nA)
◆ オージェ電子分光系
● アナライザ:同心半球形静電アナライザ(HSA)
● 分析エネルギー範囲:0~2,500eV
● エネルギー分解能:(△E/E) 0.05~ 0.6%
◆ 試料ステージ
● 駆動範囲:X:±10mm、Y:±10mm、Z:±6mm
T: 0~90゜、R:360゜ (制限なし )
● 試料サイズ:最大 20mmφ×5mmH

 メーカー/規格

日本電子株式会社/JAMP-9500F

フィールドエミッションオージェ電子顕微鏡
フィールドエミッションオージェ電子顕微鏡

 ※装置を利用したい方は、山口県産業技術センターまでお問い合わせください。