やまぐちイノベーション創出推進拠点

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レーザー干渉平面度測定装置

 ※装置を利用したい方は、山口県産業技術センターまでお問い合わせください。

 設備概要

シリコンウエハの平面度測定や成膜プロセスの応力解析に利用できるほか、高精度 加工部品の平面度の測定ができます。

● 測定方式:斜入射光波干渉方式
● 測定範囲:φ200mm以下
● 保持具: ウェハ用全面吸着チャック(2,4,6インチ)
ウェハ用中心吸着チャック(2,4,6インチ)
任意形状サンプル保持台
● 干渉縞解析ソフト: ウェハ解析、サイト解析、 任意形状サンプルの平面度解析、 ウェハ用ストレス解析

 メーカー/規格

株式会社ニデック/FT-900v2

レーザー干渉平面度測定装置
レーザー干渉平面度測定装置

 ※装置を利用したい方は、山口県産業技術センターまでお問い合わせください。