やまぐちイノベーション創出推進拠点

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干渉膜厚計

 ※装置を利用したい方は、山口県産業技術センターまでお問い合わせください。

 設備概要

半導体や光学材料などの多層膜の絶対反射率・多層膜解析・膜物性解析(n:屈折率、k:消衰係数)の測定を行います。
紫外から近赤外域の反射光により、多層膜の膜厚測定・光学定数解析が可能です。

● 測定レンジ:1nm~40μm
● 測定波長範囲:230nm~800nm
● 検出器:電子冷却型 CCDエリアイメージセンサ 512ch
● 光源:D2/I2(紫外-可視仕様)

 メーカー/規格

大塚電子株式会社/FE-3000YIT

干渉膜厚計
干渉膜厚計

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